互动美埃科技：公司为中芯国际和上海微电子提供产品
来源：金融界 发布时间：2023-03-17 13:54 关键词：科技,公司,国际,上海,产品 阅读量：15163
美埃科技在互动平台表示，公司从2006年至今为中芯国际(行情688981,诊股)多地工厂供应风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障中芯国际系的历代产品线(包括中芯国际最先进的14nm和28nm制程)对空气洁净度的要求。公司为开发国内首台28纳米光刻设备的上海微电子所需的光刻机机台内国际最高洁净等级标准(ISO Class 1级)洁净环境提供EFU(超薄型设备端自带风机过滤机组)及ULPA(超高效过滤器)等产品，助力国内光刻机事业突破卡脖子技术难题。
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